2017年
Expansion of Smoothed Area on Hole Bottom Surface by Setting Magnetic Block in Large-area Electron Beam Irradiation
Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), D33
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- 開始ページ
- D33
- 終了ページ
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）