1997年
単結晶シリコンの放電加工に関する基礎的研究(共著)
精密工学会誌
- ,
- ,
- ,
- 巻
- 63
- 号
- 10
- 開始ページ
- 1459
- 終了ページ
- 1463
- DOI
- 10.2493/jjspe.63.1459
- リンク情報
- ID情報
-
- DOI : 10.2493/jjspe.63.1459
- ISSN : 0912-0289
- ISSN : 1882-675X
- CiNii Articles ID : 10003573003