論文

査読有り
1999年4月

High Efficiency Fine Boring of Monocrystalline Silicon Ingot by Electrical Discharge Machining

Precision Engineering(Journal of the American Society for Precision Engineering)
  • Yoshiyuki Uno, Akira Okada*, Yasuhiro Okamoto, Kazuo Yamazaki, Subhash H. Risbud and Yoshiaki Yamada
巻
23
号
2
開始ページ
126
終了ページ
133
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
リンク情報
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000080475600007&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • ISSN : 0141-6359
  • Web of Science ID : WOS:000080475600007
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