2013年4月1日
Fundamental Study on Sputter Deposition of Ceramic Film by Large-area EB Irradiation
Procedia CIRP
- 巻
- 6
- 号
- 開始ページ
- 487
- 終了ページ
- 492
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- ID情報
-
- ISSN : 2212-8271
岡田 晃
オカダ アキラ (Akira Okada)
更新日: 2023/12/28