2019年3月1日
Investigation of Separation Method for Gallium Nitride with Internal Modified Layer by Ultrashort Pulsed Laser
International Journal of Electrical Machining
- 巻
- 24
- 号
- 24
- 開始ページ
- 27
- 終了ページ
- 32
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.2526/ijem.24.21
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.2526/ijem.24.21
- ISSN : 1341-7908
- eISSN : 2188-5117