講演・口頭発表等

2019年9月

Suppression of Vibration Induced by Reciprocal Motion of Displacer in Cryopump with an Active Dynamic Vibration Absorber

IFAC MECHATRONICS & NOLCOS 2019
  • Takeshi MIZUNO
  • ,
  • Takahito IIDA
  • ,
  • Yuji ISHINO
  • ,
  • Masaya TAKASAKI
  • ,
  • Daisuke YAMAGUCHI

記述言語
英語
会議種別