超音波振動子と対向子を用いたポンプの液体への適用 2020年度精密工学会春季大会学術講演会 山本翔也, 胡 永亮, 髙﨑正也, 山口大介, 石野裕二, 水野 毅 Event date Mar 17, 2020 - Mar 19, 2020 Language Japanese Presentation type