論文

査読有り
2018年11月

Reaction mechanism of ZrO x metal resists with extreme ultraviolet irradiation

Jpn. J. Appl. Phys.

58
SD
開始ページ
SDDC01
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.7567/1347-4065/ab0542

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.7567/1347-4065/ab0542
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000474924800008&DestApp=WOS_CPL
Scopus
https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85069533521&origin=inward
Scopus Citedby
https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85069533521&origin=inward
ID情報
  • DOI : 10.7567/1347-4065/ab0542
  • ISSN : 0021-4922
  • eISSN : 1347-4065
  • SCOPUS ID : 85069533521
  • Web of Science ID : WOS:000474924800008

エクスポート
BibTeX RIS