2018年11月
Reaction mechanism of ZrO x metal resists with extreme ultraviolet irradiation
Jpn. J. Appl. Phys.
- 巻
- 58
- 号
- SD
- 開始ページ
- SDDC01
- 終了ページ
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.7567/1347-4065/ab0542
- リンク情報
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- DOI
- https://doi.org/10.7567/1347-4065/ab0542
- Web of Science
- https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000474924800008&DestApp=WOS_CPL
- Scopus
- https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85069533521&origin=inward
- Scopus Citedby
- https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85069533521&origin=inward
- ID情報
-
- DOI : 10.7567/1347-4065/ab0542
- ISSN : 0021-4922
- eISSN : 1347-4065
- SCOPUS ID : 85069533521
- Web of Science ID : WOS:000474924800008