2000年3月20日
TiスパッタリングにおけるTiのイオン分率
真空
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- 巻
- 43
- 号
- 3
- 開始ページ
- 448
- 終了ページ
- 448
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/10004562084
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN00119871
- ID情報
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- ISSN : 0559-8516
- CiNii Articles ID : 10004562084
- CiNii Books ID : AN00119871