論文

査読有り筆頭著者責任著者

2021年6月21日

Discharge characteristics of electronegative Mg–CF4 direct current magnetron sputtering by probe measurements

Journal of Applied Physics

Eiji Kusano

巻: 129
号: 23
開始ページ: 233305-1
終了ページ: 233305-20
記述言語: 英語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1063/5.0052871
出版者・発行元: AIP Publishing

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1063/5.0052871
URL: https://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/5.0052871

ID情報

DOI : 10.1063/5.0052871
ISSN : 0021-8979
eISSN : 1089-7550

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