2022年1月
Growth of flat-topped, mound-shaped grains with voids when depositing silver thin films at high substrate temperatures using direct-current magnetron sputtering
Journal of Vacuum Science & Technology A
- 巻
- 40
- 号
- 1
- 開始ページ
- 013410-1
- 終了ページ
- 013410-12
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1116/6.0001476
- 出版者・発行元
- American Vacuum Society
- ID情報
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- DOI : 10.1116/6.0001476
- ISSN : 0734-2101
- eISSN : 1520-8559