岩永 寛規

低温ポリシリコン TFTは、それ以前のアモルファスシリコンTFTの100倍の移動度（スイッチング特性）を有する。従って低温ポリシリコンTFT-LCDは、従来のTFT-LCDより明るく鮮明な表示を実現することができる。 低温ポリシリコンTFT-LCDにおいては、カラーフィルターがTFTの上部に連続形成される(Color Filter On Array)ことが特徴であり、COA-LCDと呼ばれている。アレイの上にカラーフィルターがあるため、基板の位置合わせ精度が向上して開効率が増大し、明るい表示と低消費電力が両立されるのである。 しかしながら、COA-LCDの量産化の過程で深刻な焼き付き不良（電圧を印加しても液晶画素の光学特性が変化しない現象）が発生し、商品化は停滞した。 この課題に対して、焼き付き不良の原因物質と不良発生の作用機序を解明し、さらに原因物質を除去する工程を見出すことにより、TFT-LCD低温ポリシリコンTFT-LCDの量産化を導いた。