講演・口頭発表等

2019年11月18日

XPS study on film thickness dependence of surface charge-up and resistance of SiO2 films on Si

2019 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES -SCIENCE AND TECHNOLOGY- (IWDTF 2019)
  • K. Ushimaru
  • ,
  • T. Harie
  • ,
  • D. Kobayashi
  • ,
  • T. Yamamoto
  • ,
  • K. Hirose

開催年月日
2019年11月18日 - 2019年11月20日