受賞

2009年7月

Best Poster Award

ASME
  • Hiroki Kishi
    • ,
  • Takuya Sasaki
    • ,
  • Nobuki Ueta
    • ,
  • Ken Suzuki
    • ,
  • Hideo Miura
タイトル
In-situ monitoring method of the chnage of the residual stress in a transistor structure during it sfabrication process
受賞区分
国内外の国際的学術賞
ASME InterPACK 2009 @ San Francisco
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