特許権 半導体装置及びその製造方法 日立製作所，TTI 石塚典男, 岩崎富生, 太田裕之, 三浦英生 出願番号 P20030040958 出願日 2003年6月24日 特許番号/登録番号 P10-0610217 登録日 発行日 2006年8月1日
