その他

2010年4月 - 2010年4月

格子欠陥と応力の相互作用に基づく半導体デバイス特性変動メカニズム解明に関する研究

次世代トランジスタの性能と信頼性を両立させるひずみ制御技術に関し定量的に研究する．