
ジュリウス ジョセフ スドライ サンティリャン
Julius Joseph Sudlay Santillan
更新日: 2024/11/01
基本情報
- 所属
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域 主任研究員
- 大阪大学 産業科学研究所 特任准教授(常勤)
- 学位
-
博士(工学)(筑波大学)
- J-GLOBAL ID
- 201901004614083841
- researchmap会員ID
- B000379139
経歴
1-
2023年7月 - 現在
学歴
1-
2013年4月 - 2014年3月
委員歴
1論文
106-
Proc. SPIE Advances in Patterning Materials and Processes XL(12498) 1249814 2023年5月1日 筆頭著者
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Japanese Journal of Applied Physics 62(SG) SG1037 2023年2月17日 査読有り
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Japanese Journal of Applied Physics 62(1) 016503 2023年1月1日 査読有り
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Journal of Photopolymer Science and Technology 35(1) 67-74 2022年12月16日 査読有り筆頭著者
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Japanese Journal of Applied Physics 61(5) 056506-056506 2022年5月1日 査読有り最終著者
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Japanese Journal of Applied Physics 60(SC) SCCA03-SCCA03 2021年6月1日 査読有り最終著者
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Japanese Journal of Applied Physics 60(SC) SCCC01-SCCC01 2021年6月1日 査読有り筆頭著者
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Alternative developer solution/process for EUV lithography: ethyltrimethylammonium hydroxide (ETMAH)Proc. SPIE EUV XII(11609) 116090W 2021年3月16日 筆頭著者
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Proc. SPIE Extreme Ultraviolet Lithography 2020(11517) 1151718 2020年10月14日 筆頭著者
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Proc. SPIE Optical Microlithography XXXIII(11327) 113271B 2020年3月23日
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Proc. SPIE Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XI(11323) 113231W 2020年3月23日 筆頭著者
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Journal of Photopolymer Science and Technology 32(2) 321-326 2019年5月 査読有り
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J. Photopolym. Sci. Technol. 32(2) 355-360 2019年5月 査読有り
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Japanese Journal of Applied Physics 58(3) 036501 2019年2月 査読有り
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Proc. SPIE EUV X(10957) 109570C 2019年2月
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Japanese Journal of Applied Physics 58(3) 036503 2019年2月 査読有り
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Journal of Photopolymer Science and Technology 32(1) 161-167 2019年
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Jpn. J. Appl. Phys. 58(SD) SDDC01 2018年11月 査読有り
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Japanese Journal of Applied Physics 57(5) 2018年5月1日 査読有り
MISC
3-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 54(11) 2015年11月
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 54(8) 2015年8月
-
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 25(6) 2295-2300 2007年11月
講演・口頭発表等
4-
32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2019年10月31日
-
SPIE Photomask Technology + Extreme Ultraviolet Lithography 2019年9月16日
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The 36th International Conference of Photopolymer Science and Technology 2019年6月27日
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The 36th International Conference of Photopolymer Science and Technology 2019年6月27日 招待有り