2010年 - 2010年 シリコンウエハーの固定砥粒ワイヤーソー切断油の開発 https://www.chusho.meti.go.jp/sapoin/index.php/cooperation/project/detail/2434 近畿経済産業局 平成22年度戦略的基盤技術高度化支援事業 副総括研究代表者, 和田 任弘 担当区分 研究代表者 資金種別 競争的資金