査読有り 2002年 PZT薄膜を用いた縦振動プローブセンサ ―縦振動子の特性と接触検出分解能の評価― 超音波テクノ 神田岳文 巻 14 号 1 開始ページ 18 終了ページ 22 記述言語 日本語 掲載種別 記事・総説・解説・論説等（学術雑誌） エクスポート BibTeX RIS
