2004年6月15日
UHV-C-AFMによるHfO_2/SiO_2スタック構造におけるリークスポットの直接観察(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
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- 巻
- 104
- 号
- 135
- 開始ページ
- 55
- 終了ページ
- 58
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 一般社団法人電子情報通信学会
HfO_2/SiO_2スタツク構造に対して、超高真空環境でC-AFM観察を行うことにより、正、負どちらのテイップバイアスに対しても再現性のある観察を行うことができた。これは、超高真空環境の導入、カンチレバー、試料の脱ガス処理による、試料、ティップ表面の清浄化が達成されたために、観察中の針先、表面の変質を回避できたためであると考えている。正、負どちらのティップバイアスにおいてもリークは局所的なリークスポットとして電流像に現れた。これらのリークスポットの面密度はバイアスの大きさに対して指数関数的に増加する。
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/110003309076
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN10013254
- ID情報
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- ISSN : 0913-5685
- CiNii Articles ID : 110003309076
- CiNii Books ID : AN10013254
- identifiers.cinii_nr_id : 9000004935985