2009年10月
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
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- 担当区分
- 分担執筆
- 担当範囲
- 第9章 樹脂フィルムパターン技術
- 出版者・発行元
- シーエムシー出版
- 総ページ数
- 301
- 担当ページ
- pp220-226
- 記述言語
- 日本語
- 著書種別
- DOI
- ISBN
- 9784781301679
- ID情報
-
- ISBN : 9784781301679
繁富（栗林） 香織
シゲトミ（クリバヤシ） カオリ (Kaori Kuribayashi-Shigetomi)
更新日: 04/11