産業財産権

特許権

薄膜コンデンサおよびその製造装置

伊藤忠ファインケミカル株式会社外1名

村山洋一
柏木邦弘
吉田泰彦

出願番号: 特許出願平4-132733
出願日: 1992年5月25日

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