竹田圭吾 (Keigo Takeda) - マイポータル

基本情報

所属: 名城大学理工学部電気電子工学科教授

学位: 博士（工学）(2007年3月名古屋大学)

研究者番号: 00377863
J-GLOBAL ID: 202101016474669707
researchmap会員ID: R000023501

研究分野

経歴

2009年4月 - 2017年3月

名古屋大学, 大学院工学研究科, 助教
2007年4月 - 2008年3月

名古屋大学, 大学院工学研究科, 中核的研究機関研究員

学歴

2004年4月 - 2007年3月

名古屋大学, 工学研究科, 量子工学専攻

受賞

論文

142

Sputtering deposition of dense and low-resistive amorphous In2O3: Sn films under ZONE-T conditions of Thornton's structural diagram

Y. Wada, W. Magdy, K. Takeda, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Hori, M. Shiratani, N. Itagaki

Applied Physics Letters 124(24) 2024年6月10日
発光・吸収分光法によるプラズマ内活性粒子の診断技術

プラズマエレクトロニクス分科会会報 (80) 11-16 2024年6月筆頭著者最終著者責任著者
Generation and measurement of low-temperature plasma for cancer therapy: a historical review

Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Shinji Yoshimura, Takashi Kondo, Hiromasa Tanaka, Shinya Toyokuni, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Masaaki Mizuno, Masaru Hori

Free Radical Research 57(3) 239-270 2023年3月4日
Role of insoluble atoms in the formation of a three-dimensional buffer layer in inverted Stranski–Krastanov mode

N. Yamashita, R. Mitsuishi, Y. Nakamura, K. Takeda, M. Hori, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

Journal of Materials Research 38(5) 1178-1185 2023年1月10日査読有り
Wide range applications of process plasma diagnostics using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy

Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

Reviews of Modern Plasma Physics 6(13) 1-32 2022年7月1日筆頭著者責任著者
プラズマによるカーボンナノウォールの合成と応用—Plasma Synthesis of Carbon Nanowalls and their Applications—小特集カーボン材料への低温プラズマ利用に関する最新研究事情と今後の展望

平松美根男, 竹田圭吾, 近藤博基, 堀勝

プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 98(4) 158-164 2022年4月
Graphene growth in microwave-excited atmospheric pressure remote plasma enhanced chemical vapor deposition

Yusuke Sakai, Keigo Takeda, Mineo Hiramatsu

Japanese Journal of Applied Physics 61(SA) SA1018-SA1018 2021年12月15日
先端デバイス構造を実現する超絶ドライエッチング技術の最前線６．おわりに

石川健治, 竹田圭吾

プラズマ・核融合学会誌 97(9) 534-536 2021年9月
先端デバイス構造を実現する超絶ドライエッチング技術の最前線１．はじめに

石川健治, 竹田圭吾

プラズマ・核融合学会誌 97(9) 508-510 2021年9月
真空紫外吸収分光によるプロセスプラズマ計測のさまざまな応用

竹田圭吾

応用物理 90(1) 14-30 2021年
Characterization of a microsecond pulsed non-equilibrium atmospheric pressure Ar plasma using laser scattering and optical emission spectroscopy

F. Jia, Y Wu, Q. Min, M. Su, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori, Z. Zhong

Plasma Science and Technology 22 065402-1-065402-8 2020年4月
Gas-phase and film analysis of hydrogenated amorphous carbon films: Effect of ion bombardment energy flux on sp2 carbon structures

H. Sugiura, Y. Ohashi, K. Ishikawa, H. Kondo, T. Kato, T. Kaneko, K. Takeda, T. Tsutsumi, T. Hayashi, M. Sekine, M. Hori

Diamond and Related Materials 104 107651-1-107651-10 2019年12月
In-liquid plasma synthesis of nanographene with a mixture of methanol and 1-butanol

A. Ando, K. Ishikawa, K. Takeda, T. Ohta, M. Ito, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori

ChemNanoMat 6(4) 604-609 2019年12月
Control of sp2-C cluster incorporation of amorphous carbon films grown by H-radical-injection CH4/H2 plasma-enhanced chemical vapor deposition

H. Sugiura, L. Jia, Y. Ohashi, H. Kondo, K. Ishikawa, T. Tsutsumi, T. Hayashi, K. Takeda, M. Sekine, M. Hori

Japanese Journal of Applied Physics 58(3) 030912-1-030912-4 2019年2月
Systematic diagnostics of the electrical, optical, and physicochemical characteristics of low-temperature atmospheric-pressure helium plasma sources

K. Takeda, H. Yamada, K. Ishikawa, H. Sakakita, J. Kim, M. Ueda, J. Ikeda, Y. Akimoto, Y. Kataoka, N. Yokoyama, Y. Ikehara, M. Hori

Journal of Physics D: Applied Physics 52(16) 165202-1-165202-13 2019年2月
プラズマプロセスにおける吸収分光計測の基礎

竹田圭吾, 高島成剛, 堀勝

Journal of Plasma and Fusion Research 95(4) 180-186 2019年
Investigation of nanographene produced by in-liquid plasma for development of highly durable polymer electrolyte fuel cells

V. Gamaleev, K. Kajikawa, K. Takeda, M. Hiramatsu

Journal of Carbon Research 4(4) 045101-1-045101-8 2018年11月
Mechanism of asymmetric etched profiles in trimming process

N. Negishi, M. Miyake, K. Takeda, M. Hori

Japanese Journal of Applied Physics 57(10) 106201-1-106201-8 2018年9月
Effects of gas residence time of CH4/H2 on sp2 fraction of amorphous carbon films and dissociated methyl density during radical-injection plasma-enhanced chemical vapor deposition

H. Sugiura, L. Jia, H. Kondo, K. Ishikawa, T. Tsutsumi, T. Hayashi, K. Takeda, M. Sekine, M. Hori

Japanese Journal of Applied Physics 57(6S2) 06JE03-1-06JE03-4 2018年5月
Impact of helium pressures in arc plasma synthesis on crystallinity of single-walled carbon nanotubes

A. Ando, K. Takeda, T. Ohta, M. Ito, M. Hiramatsu, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, T. Suzuki, S. Inoue, Y. Ando, M. Hori

Japanese Journal of Applied Physics 57(6S2) 06JF01-1-06JF01-4 2018年4月

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MISC

自己吸収プラズマ光源を用いた反応性プラズマの吸収分光計測 : 水素プラズマ中の原子状ラジカルの挙動解析—Absorption spectroscopy of reactive plasma using self-absorbing plasma light source : Diagnostics of behavior of atomic radical in hydrogen gas plasma

竹田圭吾

名城大学総合研究所紀要 = Bulletin of Research Institute of Meijo University / 名城大学総合研究所編 (27) 5-7 2022年
非平衡大気圧リモートプラズマCVDを用いたグラフェンの形成過程

酒井勇佑, 竹田圭吾, 平松美根男

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.2 1668-1668 2021年8月26日
Cu基板上のカーボンナノウォール成長に対するDCバイアス印加効果

竹内皓紀, 竹田圭吾, 平松美根男

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.2 1659-1659 2021年8月26日
プラズマ合成されたナノグラフェン材料への生体分子修飾

久住一誠, 竹田圭吾, 平松美根夫

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.2 1656-1656 2021年8月26日
カーボンナノウォールの電気二重層キャパシタ電極への応用

竹内皓紀, 竹田圭吾, 平松美根男

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 1549-1549 2021年2月26日
大気圧リモートプラズマCVDを用いたグラフェンの成長過程

酒井勇佑, 竹田圭吾, 平松美根男

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 1548-1548 2021年2月26日
HiPIMSを用いたTiNスパッタリングプラズマ中のイオンの挙動

中村将之, 竹田圭吾, 太田貴之

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 1848-1848 2019年9月4日
溶液処理による広間隔カーボンナノウォールの作製

竹田圭吾, 佐藤匠, 平松美根男

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 1870-1870 2019年9月4日
大気圧プラズマジェットを用いたラジカル支援ミストCVDによる酸化亜鉛薄膜合成

可児旭, 竹田圭吾, 平松美根男

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 1869-1869 2019年9月4日
ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたTiN成膜プロセスにおける基底状態の窒素原子密度計測

中村将之, 竹田圭吾, 太田貴之

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 1645-1645 2019年2月25日
カーボンナノウォールを用いたバイオ燃料電池作製に関する研究

野崎仁之, 竹田圭吾, 平松美根男

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 3567-3567 2018年9月5日
ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングにおける窒素の挙動

中村将之, 太田貴之, 竹田圭吾

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 1758-1758 2018年9月5日
AC励起大気圧アルゴンプラズマの分光学的解析—Spectroscopic analysis of AC excited atmospheric pressure argon plasma

竹田圭吾

名城大学理工学部研究報告 = Research reports of the Faculty of Science and Technology, Meijo University / 名城大学理工学部編 (58) 25-29 2018年
非平衡大気圧プラズマプロセスによる微細孔内の流速制御

伊藤巧, 石川健治, 小野島大介, 湯川博, 橋爪博司, 田中宏昌, 木原直人, 龍腰健太郎, 小高秀文, 竹田圭吾 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd 2016年
Plasma Agriculture (V) - Fluorescence observation of spore of Penicillium digitatum during atmospheric pressure plasma treatment -

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2011.1 1934-1934 2011年3月9日
Ar/O₂/H₂表面波プラズマを用いたSi酸化プロセスにおける基板バイアス印加効果

竹田圭吾, 堀勝

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.2 1563-1563 2010年8月30日
生体ミクロ構造体表面での相互反応ダイナミクス

伊藤昌文, 太田貴之, 竹田圭吾

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.1 93-93 2010年3月3日
自律型プラズマナノエッチング製造装置の創製～装置が自己判断、自己制御

竹田圭吾

自己修正する究極のプラズマプロセスの実現～, NU VBL news 第14巻 7 2010年
低コヒーレンス干渉計を用いた多層基板温度計測システムの開発—第8回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集 ; S1. MEMS(1)

竹田圭吾, 椎名達雄, 伊藤昌文

知能メカトロニクスワークショップ講演論文集 8 7-11 2003年8月

書籍等出版物

Plasma Medical Science

Keigo Takeda

Academic Press 2018年7月
大気圧プラズマ基礎と応用

竹田圭吾 (担当:監修, 範囲:第4.3.3項「ガス温度計測吸収分光法」および第4.5.2項「粒子系計測吸収分光法：VUV, UV, 近赤外、赤外」)

オーム社 2009年9月

講演・口頭発表等

低温プラズマが引き起こす物理化学的な反応機構の理解とその制御

竹田圭吾

第42回先端プラズマ技術研究会 2019年12月招待有り
Electrical, optical, and physicochemical behaviors of atmospheric pressure plasma jet generated in open air

K. Takeda, K. Ishikawa, H. Tanaka, M. Sekine, M. Hori

3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 2019年11月招待有り
Nanoplatform Based on Nanographenes synthesized by Plasma Processing for Electrochemical Applications

K. Takeda, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. Hori

4th International Conference & Expo on Green Chemistry and Engineering 2019年7月招待有り
Synthesis of 3D Graphene Network as Platform for Emerging Applications

K. Takeda, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. Hori

Energy Materials Nanotechnology Rome Meeting on Carbon Nanostructures 2019 2019年5月招待有り
Systematic diagnostics of AC excited atmospheric pressure plasma jet for bio-medical applications

K. Takeda, K. Ishikawa, H. Tanaka, M. Sekine, M. Hori

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its application for Nitrides and Nanomaterials / 12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2019年3月招待有り
Development of polymer electrolyte fuel cells with Pt-supported nanographene synthesized by in-liquid plasma

K. Takeda, K. Kajikawa, V. Gamaleev, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. Hori

International Workshop on Plasma-Tailored Nanostructures and Applications 2019年1月招待有り
Spectroscopic Diagnostics of Atmospheric Pressure Plasma Jets for Plasma Life Science

K. Takeda, K. Ishikawa, H. Tanaka, M. Sekine, M. Hori

第28回日本MRS年次大会 2018年12月招待有り
Growth Control of Vertical Nanographene Network in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Its Emerging Applications

K. Takeda, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. Hori

21st International Conference on Advanced Materials & Nanotechnology 2018年9月招待有り
Fabrication of Vertical Nanographene Network for Emerging Applications

K. Takeda, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. Hori

Baltic Conference Series 2018, Carbon materials & Technology Conference, Plastics and Rubber Conference, Epoxy and Resins Conference 2018年5月招待有り
Carbon Nano Walls, Vertical Nano Graphene Network as Platform for Electrochemical Application

K. Takeda, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. Hori

6th Annual Conference of AnalytiX-2018 2018年3月招待有り
Mechanism of silicon oxidation clarified by plasma diagnostics

K. Takeda, M. Hori

Taiwan-Japan Joint Workshop of 6th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications, 6th International Workshop for Nano-Carbon and Workshop and 8th International Workshop for Plasma-bio Science and Technology 2017年12月招待有り
Nanoplatform based on vertical nanographenes grown by plasma enhanced chemical vapor deposition for sensor devices

K. Takeda, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. Hori

19th International Conference on Nanotechnology and Expo 2017年11月招待有り
プラズマプロセスを支配する反応活性種のモニタリング

竹田圭吾

第24回プラズマ医療サイエンスの扉、第24回サイエンスカフェ-プラズマ医療- 2017年10月招待有り
Measurements of reactive species and VUV radiations generated by AC excited atmospheric pressure Ar plasma jet in open air

K. Takeda, K. Ishikawa, H. Tanaka, M. Sekine, M. Hori

The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 2017年9月招待有り
プラズマ診断・計測

竹田圭吾

第11回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 2017年8月招待有り
プラズマ医療科学の発展に向けて『プラズマ計測，医療用プラズマ源の観点から』

内田儀一郎, 竹田圭吾

新学術領域「プラズマ医療科学の創成」若手ワークショップ 2017年5月招待有り
太陽電池用シリコン薄膜合成にいる SiH4/H2プラズマ内の活性種反応機構

竹田圭吾, 石川健治, 近藤博基, 関根誠, 堀勝

第7回プラズマバイオ異分野融合セミナー、第5回グリーンイノベーションセミナー 2017年4月招待有り
Diagnostics of reactive species in processing plasma for nano fabrications

K. Takeda, Y. Abe, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori

Taiwan- Japan Joint Workshop of 5th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications, 5th International Workshop for Nano-Carbon and Workshop and 7th International Workshop for Plasma-bio Science and Technology 2017年3月招待有り
気相プラズマ中及び液面近傍ラジカルの診断

竹田圭吾, 石川健治, 田中宏昌, 関根誠, 堀勝

第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016年9月招待有り
大気圧プラズマ診断の基礎とその重要性

竹田圭吾

プラズマバイオ科学技術研究センター主催第3回プラズマバイオ異分野融合セミナー 2015年12月招待有り

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担当経験のある科目(授業)

共同研究・競争的資金等の研究課題

イオン照射表面における原子状ラジカル反応機構の定量解析と学理構築

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2024年4月 - 2027年3月

竹田圭吾
大気圧ラジカル支援ミストCVDによる酸窒化亜鉛薄膜の合成とラジカル反応機序の解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2021年4月 - 2024年3月

竹田圭吾
自己反転インコヒーレント光源を用いた原子状ラジカルの並進エネルギー計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2018年4月 - 2022年3月

竹田圭吾
カーボンナノウォールシートエッジエレクトロニクスの創成と単一細胞の分化誘導制御

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2015年4月 - 2018年3月

堀勝, 近藤博基, 石川健治, 竹田圭吾, 田中宏昌
定量化されたラジカルによるモデル細胞の反応シグナルパス解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2014年4月 - 2017年3月

伊藤昌文, 竹田圭吾, 太田貴之
プラズマ医療のための気相・表界面反応ダイナミクスの計測と体系化

日本学術振興会科学研究費助成事業新学術領域研究(研究領域提案型) 2012年6月 - 2017年3月

堀勝, 鈴置保雄, 加藤昌志, 秋山真一, 平松美根男, 近藤博基, 関根誠, 石川健治, 竹田圭吾, 太田貴之, 田中宏昌, 矢嶋伊知朗, 飯田真智子, 橋爪博司, 小又尉広
プラズマ微細加工におけるナノ揺らぎ制御に係わるプラズマ科学の創成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2013年4月 - 2016年3月

関根誠, 竹田圭吾, 近藤博基, 林俊雄, 石川健治
気液プラズマ照射下におけるバイオマテリアル形態変化のその場電子顕微鏡観察

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2015年3月

近藤博基, 伊藤昌文, 竹田圭吾, 石川健治
プラズマ照射下その場原子分解能観察による垂直成長ナノグラフェン成長素過程の解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2012年4月 - 2015年3月

近藤博基, 竹田圭吾, 堀勝, 平松美根男, 石川健治
レーザートムソン散乱分光法による液中プラズマ中の電子エネルギー分布計測

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2014年3月

堀勝, 竹田圭吾
プラズマと菌細胞ミクロ構造体との相互反応ダイナミクス

日本学術振興会科学研究費助成事業新学術領域研究(研究領域提案型) 2009年7月 - 2014年3月

伊藤昌文, 太田貴之, 竹田圭吾, 竹田圭吾
反応性プラズマプロセスにおけるラジカル・イオンの相互表面反応過程の解明

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 2011年 - 2012年

竹田圭吾
カーボンナノウォールの超高速・超精密形成と次世代燃料電池デバイスへの応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2008年 - 2010年

堀勝, 平松美根男, 竹田圭吾
レーザ気相診断によるプラズマ窒化プロセスの反応メカニズムの解明

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 2008年 - 2009年

竹田圭吾
低次元カーボン系チャネルエンジニアリング

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2006年 - 2009年

堀勝, 高島成剛, 竹田圭吾, 竹内和歌奈

竹田圭吾

基本情報

研究分野

経歴

学歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

共同研究・競争的資金等の研究課題

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