2012年11月
AlGaAs 系フォトニック結晶構造作製に向けたICP ドライエッチングマスクに関する研究
電子情報通信学会技術研究報告. LQE, レーザ・量子エレクトロニクス
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- 巻
- 112
- 号
- 329
- 開始ページ
- 117
- 終了ページ
- 120
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 一般社団法人電子情報通信学会
LQE12-118
2012/11/30
2012/11/30
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/110009642434
- ID情報
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- ISSN : 0913-5685
- CiNii Articles ID : 110009642434