論文

査読有り
2019年12月

PVDF膜におけるエッチング可能なイオントラックサイズの制御; 酸素中照射とフラーレンC$_{60}$照射

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
  • 喜多村 茜
  • ,
  • 八巻 徹也*
  • ,
  • 百合 庸介*
  • ,
  • 越川 博*
  • ,
  • 澤田 真一*
  • ,
  • 湯山 貴裕*
  • ,
  • 薄井 絢
  • ,
  • 千葉 敦也*

460
開始ページ
254
終了ページ
258
記述言語
英語
掲載種別
DOI
10.1016/j.nimb.2019.06.030

我々は既に、フッ素系高分子の一つであるポリフッ化ビニリデン(PVDF)が、イオントラックのみをエッチングできる材料として、イオントラックの研究に適することを示している。そこで本研究では、PVDFと2種類の照射技術に着目して、イオントラック径を制御する手法を検討した。一つはイオントラック内の酸化を促進できる可能性を持つ酸素雰囲気下での重イオンビーム照射であり、もう一つは単イオンに比べて60倍もの高いエネルギーを一つのイオントラックに付与できるフラーレン(C$_{60}$$^{+}$)クラスタービームの照射である。前者の照射技術を用いて、エッチング可能なイオントラックの領域を、従来の真空中照射では得られないサイズにまで拡大させる手法の開発に成功した。また後者の技術を用いて、同じエネルギーを持つ単イオン(C$^{+}$)の場合に比べて、イオントラック径を拡大できる手法を示した。

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2019.06.030
URL
https://jopss.jaea.go.jp/search/servlet/search?5062055
ID情報
  • DOI : 10.1016/j.nimb.2019.06.030
  • ISSN : 0168-583X

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