2013年3月11日 スパッタリング法によるアモルファスMg2Si系半導体の作製と評価 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 原昌太, 加藤敬, 松木伸行, 藤原裕之 巻 60th 号 開始ページ ROMBUNNO.30A-G7-4 終了ページ 記述言語 日本語 掲載種別 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201302251859326894 ID情報 J-Global ID : 201302251859326894 エクスポート BibTeX RIS