2021年4月28日
Lateral spreads of ion-implanted Al and P atoms in silicon carbide
Japanese Journal of Applied Physics
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- 巻
- 60
- 号
- 5
- 開始ページ
- 051001-1
- 終了ページ
- 051001-7
- 記述言語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.35848/1347-4065/abf13d
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.35848/1347-4065/abf13d
- ISSN : 0021-4922
- eISSN : 1347-4065