2009年 実用薄膜プロセス - 機能創製・応用展開 - 鈴木基史 担当区分 分担執筆 担当範囲 第2編第2章 形態制御機能薄膜 出版者・発行元 エヌ・ティー・エス 記述言語 日本語 著書種別 DOI ISBN 9784907837181 ID情報 ISBN : 9784907837181
