MISC

2004年9月

5keV Si+注入により歪みSi/Si0.8Ge0.2に生じた欠陥の熱処理による回復

応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 松下知義
    • ,
  • 酒井渉
    • ,
  • 中嶋薫
    • ,
  • 鈴木基史
    • ,
  • 木村健二
    • ,
  • AGARWAL A
    • ,
  • GOSSMANN H‐J
巻
65th
号
1
開始ページ
322
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別
研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）
リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200902204693914341
ID情報
  • J-Global ID : 200902204693914341
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