2004年3月 歪みSi/Si0.7Ge0.3への5keV Si+イオン注入による照射損傷 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 松下知義, 酒井渉, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, AGARWAL A, GOSSMANN H‐J 巻 51st 号 1 開始ページ 415 終了ページ 記述言語 日本語 掲載種別 研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議) リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200902280228006232 ID情報 J-Global ID : 200902280228006232 エクスポート BibTeX RIS