MISC

2004年3月

歪みSi/Si0.7Ge0.3への5keV Si+イオン注入による照射損傷

応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 松下知義
  • ,
  • 酒井渉
  • ,
  • 中嶋薫
  • ,
  • 鈴木基史
  • ,
  • 木村健二
  • ,
  • AGARWAL A
  • ,
  • GOSSMANN H‐J

51st
1
開始ページ
415
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別
研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200902280228006232
ID情報
  • J-Global ID : 200902280228006232

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