2009年3月 HfO2/SiO2/Si(001)のSi基板表面近傍における変位Si原子の評価 第56回応用物理学関係連合講演会 笹川薫, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 記述言語 日本語 会議種別 主催者 応用物理学会 開催地 筑波大学
