共同研究・競争的資金等の研究課題

2009年 - 2011年

高分解能RBS法の超高感度化に関する研究

文部科学省  科学研究費補助金(基盤研究(B))  基盤研究(B)

課題番号
21360022
体系的課題番号
JP21360022
担当区分
連携研究者
配分額
(総額)
18,200,000円
(直接経費)
14,000,000円
(間接経費)
4,200,000円
資金種別
競争的資金

高分解能ラザフォード後方散乱法における検出感度は主にスペクトロメーターのバックグランド・ノイズで決定される。バックグランド・ノイズの主な原因は、スペクトロメーターの内壁で散乱されたイオンと検出器のダーク・ノイズである。これらを減少させる方法を開発し、最大で200分の1まで減少させることができた。これにより、シリコン中のヒ素の検出感度を10 ppmまで向上できることがわかった。

リンク情報
URL
https://kaken.nii.ac.jp/d/p/21360022.ja.html
KAKEN
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360022
ID情報
  • 課題番号 : 21360022
  • 体系的課題番号 : JP21360022