特許権 イオンビーム機能性透過膜、イオンビーム機能性透過膜を用いたビームライン機器、イオンビーム機能性透過膜を用いたフィルター機器、フィルター機器の調整方法 出願番号 特願2019-507550 出願日 特許番号/登録番号 特許第6569048号 登録日 2019年8月16日 発行日 2019年9月4日