同重体分別は、AMSの測定効率や検出限界の向上にかかわる主要技術である。この一つとしてディグレーダー膜を用いる方法があり、この膜は多くは窒化シリコン膜(非晶質)が用いられ分析電磁石と静電偏向器の間に設置される。我々はディグレーダー膜に単結晶薄膜を用い、そこに現れうるイオンチャネリングを同重体分別に利用する技術を開発している。本研究ではイオンチャネリングが同重体分別の性能向上に効果があることを示したので報告する。