産業財産権

特許権

III族窒化物結晶の製造装置及び製造方法

国立大学法人大阪大学, パナソニック株式会社
  • 森 勇介
    • ,
  • 吉村 政志
    • ,
  • 今西 正幸
    • ,
  • 北本啓
    • ,
  • 隅智亮
    • ,
  • 滝野淳一
    • ,
  • 岡山 芳央
出願番号
特願2018-123544
出願日
2018年6月28日
公開番号
特開2020-001972
公開日
2020年1月9日
出願国
国内
高温で分解が少ない窒素原子含有ガスを用いることで、高品質なIII族窒化物結晶の製造方法、製造装置の提供
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