2018年4月 - 2022年3月
TES型マイクロカロリメータを用いた太陽アクシオン探査
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 基盤研究(B)
2018年度は, 収率の高い薄膜形成プロセスである電析による鉄吸収体形成をプロセスパラメータを変更しながら, 複数回実施し, その形成具合をみるとともに, 製作した薄膜の極低温(4K)での電気抵抗率を測定した。
電気抵抗率から熱伝導率を推定し, その熱伝導率を仮定したマイクロカロリメータ素子の熱シミュレーションを行なった。その結果, 薄膜形成プロセスにめどをつけるとともに, 得られて熱伝導率で目標とする10から20eV程度のエネルギー分解能を達成できるとの結論を得た。
以上の結果にもとづいて, マイクロカロリメータ素子の構造設計とプロセス設計を行なった。
電気抵抗率から熱伝導率を推定し, その熱伝導率を仮定したマイクロカロリメータ素子の熱シミュレーションを行なった。その結果, 薄膜形成プロセスにめどをつけるとともに, 得られて熱伝導率で目標とする10から20eV程度のエネルギー分解能を達成できるとの結論を得た。
以上の結果にもとづいて, マイクロカロリメータ素子の構造設計とプロセス設計を行なった。
- ID情報
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- 課題番号 : 18H01244
- 体系的番号 : JP18H01244