佐藤昇男 (Norio Sato) - マイポータル

基本情報

所属: Marvell Technology Principal Engineer

学位: 博士（工学）(2006年4月東京大学)

ORCID iD: https://orcid.org/0009-0001-8967-206X
J-GLOBAL ID: 202401015841580624
researchmap会員ID: R000070934

1999年4月～2026年3月 NTTにて研究開発業務に従事

学歴

- 1999年3月

東京大学, 理学系研究科, 物理学専攻
- 1997年3月

東京大学, 理学部, 物理学科

委員歴

2021年3月 - 2023年3月

応用物理学会, インダストリアルチャプターコアメンバー
2019年5月 - 2021年3月

エレクトロニクス実装学会, 理事（会誌発行担当）
2019年2月 - 2021年1月

応用物理学会, 代議員
2014年9月 - 2015年6月

VLSIテクノロジーシンポジウム, プログラム委員

受賞

2003年

JJAP論文奨励賞, 応用物理学会

佐藤昇男
2003年

五十嵐賞, シームレスインテグレーション技術によるCMOS MEMS指紋センサ, 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

佐藤昇男

論文

4 ch x 30-Gbps/ch Optical Transmission Performance of a Low-Power Transmitter Flip-Chip-Bonded 1.3-μM LD Array-on-Si

Toshiki Kishi, Munehiko Nagatani, Shigeru Kanazawa, Kota Shikama, Takuro Fujii, Hidetaka Nishi, Tadashi Minotani, Norio Sato, Toru Segawa, Shinji Matsuo

JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY 42(19) 6691-6700 2024年10月1日
Miniature Optical Connector With Magnetic Attraction Structure

Kota Shikama, Norio Sato, Takeshi Sakamoto

IEEE Photonics Technology Letters 36(8) 567-570 2024年4月15日
Tapered self-written waveguide for a silicon photonic chip I/O

Yohei Saito, Kota Shikama, Tai Tsuchizawa, Norio Sato

Optics Letters 47(12) 2971-2974 2022年6月15日
2ch × 53-Gbps Optical Transmission Performance of a Low-Power PAM4 Transmitter Front-End Flip-Chip-Bonded 1.3-μm LD Array-on-Si

Toshiki Kishi, Munehiko Nagatani, Shigeru Kanazawa, Kota Shikama, Takuro Fujii, Hidetaka Nishi, Hiroshi Yamazaki, Norio Sato, Hideyuki Nosaka, Shinji Matsuo

Journal of Lightwave Technology 39(4) 1221-1230 2021年2月15日
Nonlinear oscillation for a millimeter-sized vibrational energy harvester with ethylene tetrafluoroethylene electret

Kazuyoshi Ono, Norio Sato, Alexander Yu, Yujiro Tanaka, Tomomi Sakata, Yoshito Jin, Yasuhiro Sato, Hiroshi Koizumi

IEICE Transactions on Communications E99B(8) 1677-1686 2016年8月
Removal of gold oxide by low-temperature hydrogen annealing for microelectromechanical system device fabrication

Tomomi Sakata, Hiromu Ishii, Masao Nagase, Kazuhiko Takagahara, Kei Kuwabara, Kazuyoshi Ono, Norio Sato, Katsuyuki Machida

Japanese Journal of Applied Physics 51(6 PART 1) 2012年6月
Synchronized multiple-array vibrational device for microelectromechanical system electrostatic energy harvester

Kazuyoshi Ono, Norio Sato, Toshishige Shimamura, Mamoru Ugajin, Tomomi Sakata, Shin'ichiro Mutoh, Junichi Kodate, Yoshito Jin, Yasuhiro Sato

Japanese Journal of Applied Physics 51(5 PART 2) 2012年5月
Analysis of electret-based mems vibrational energy harvester with slit-and-slider structure

Norio Sato, Kazuyoshi Ono, Toshishige Shimamura, Kei Kuwabara, Mamoru Ugajin, Yasuhiro Sato

Journal of Microelectromechanical Systems 21(5) 1218-1228 2012年
A multilevel CMOS MEMS design methodology based on response surface models

Norio Sato, Yasuhiro Sato, Yuichi Kado, Mauro Ciappa, Dlf Aemmer, Hubert Kaeslin, Wolfgang Fichtner

Journal of Microelectromechanical Systems 20(3) 609-621 2011年6月
The effect of thick interconnections formed by gold electroplating on the characteristics of metal-oxide-semiconductor field-effect transistors

Nobuhiro Shimoyama, Norio Sato, Hiromu Ishii, Toshikazu Kamei, Kazuhisa Kudou, Katsuyuki Machida, Toshiaki Tsuchiya

Japanese Journal of Applied Physics 49(1 Part 1) 2010年
Surface cleaning of gold structure by annealing during fabrication of microelectromechanical system devices

Tomomi Sakata, Yuichi Okabe, Kei Kuwabara, Norio Sato, Kazuyoshi Ono, Nobuhiro Shimoyama, Katsuyuki Machida, Hiromu Ishii

Japanese Journal of Applied Physics 48(2) 2009年2月
Cleaning of gold interconnection surface by low-temperature hydrogen annealing for MEMS device fabrication

T. Sakata, K. Kuwabara, K. Ono, N. Sato, K. Machida, H. Ishii

ECS Transactions 16(14) 29-35 2009年
A capacitive sensing scheme for control of movable element with complementary metal-oxide-semiconductor microelectoromechanical-systems device

Toshishige Shimamura, Hiroki Morimura, Kei Kuwabara, Norio Sato, Jun Terada, Mamoru Ugajin, Satoshi Shigematsu, Katsuyuki Machida

Japanese Journal of Applied Physics 47(5 PART 1) 3418-3422 2008年5月16日
Spin coating film transfer and hot-pressing system for uniform dielectric formation and its application to porous low-k film formation

Masafumi Kawagoe, Hideki Adachi, Takaaki Yanagida, Tomoyuki Komura, Hidenori Saito, Norio Sato, Kazuhisa Kudou, Katsuyuki Machida

Japanese Journal of Applied Physics 47(1) 113-118 2008年1月18日
High aspect-ratio pillar structure with gold electroplating and STP technique for thick multilevel interconnections

N. Shimoyama, K. Ono, N. Sato, T. Sakata, K. Kuwabara, H. Ishii, T. Kamei, K. Kudou, K. Machida

Advanced Metallization Conference (AMC) 265-269 2008年
Characterization of air-gap sealing with organic dielectric using spin-coating film transfer and hot-pressing technology

Norio Sato, Katsuyuki Machida, Hiromu Ishii, Yoji Ishimura, Hidenori Saito, Sumitoshi Asakuma, Masafumi Kawagoe, Hideki Adachi

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 46(12) 7678-7683 2007年12月6日
Peel-off characteristics at interface between base film and dielectrics with spin-coating film transfer and hot-pressing technology

Toshikazu Kamei, Norio Sato, Kazuhisa Kudou, Masafumi Kawagoe, Hideki Adachi, Katsuyuki Machida

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 46(10 A) 6564-6567 2007年10月9日
Electrodeposition of water-repellent organic dielectric film as an anti-sticking coating on microelectromechanical system devices

Tomomi Sakata, Kei Kuwabara, Toshishige Shimamura, Norio Sato, Masao Nagase, Nobuhiro Shimoyama, Kazuhisa Kudou, Katsuyuki Machida, Hiromu Ishii

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 46(9 B) 6454-6457 2007年9月20日
Monolithic integration fabrication process of thermoelectric and vibrational devices for microelectromechanical system power generator

Norio Sato, Kei Kuwabara, Kazuyoshi Ono, Tomomi Sakata, Hiroki Morimura, Jun Terada, Kazuhisa Kudou, Toshikazu Kamei, Masaki Yano, Katsuyuki Machida …

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 46(9 A) 6062-6067 2007年9月7日
Conformal coating of organic dielectric film on gold electrodes in microelectromechanical system devices by electrodeposition

Tomomi Sakata, Yuichi Okabe, Kei Kuwabara, Norio Sato, Kazuhisa Kudou, Katsuyuki Machida, Hiromu Ishii

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 127(4) 2007年

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MISC

光電融合デバイスとその実装技術

佐藤昇男

光産業技術振興協会第34回フォトニックデバイス・応用技術研究会ワークショップ 2025年12月招待有り
改めて、IOWNとは何か？「光電融合技術について」

佐藤昇男

電子情報通信学会ソサイエティ大会エレクトロニクスソサイエティプレナリーセッション 2024年9月招待有り
IOWN構想における光電融合技術とディスアグリゲーテッドコンピューティング—特集大規模データセンターの構成要素技術と光学分野で脚光を浴びる活用技術

木坂由明, 布谷伸浩, 佐藤昇男, 坂本健

光技術コンタクト = Optical and electro-optical engineering contact 61(4) 10-17 2023年4月
Si基板上1.3μm帯LDアレイを用いた低消費電力送信器の30-Gbps x4chエラーフリー動作

岸俊樹, 長谷宗彦, 金澤慈, 鹿間光太, 藤井拓郎, 西英隆, 美濃谷直志, 佐藤昇男, 瀬川徹, 松尾慎治

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM) 2023 1-3 2023年
IOWNを支える光電融合デバイス技術

佐藤昇男

第９回電子デバイスフォーラム京都 2022年10月
シリコンフォトニクスと汎用光ファイバ間接続に向けた自己形成光導波路技術

齊藤洋平, 鹿間光太, 佐藤昇男

エレクトロニクス実装学会誌 25(2) 172-176 2022年3月1日
ディスアグリゲーテッドコンピューティングのための光電融合技術—特集ディスアグリゲーテッドコンピューティングが世界を変える

坂本健, 佐藤昇男, 瀬川徹

NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社編 33(5) 45-49 2021年5月
自己形成導波路によるシリコンフォトニクスの光接続技術

齊藤洋平, 鹿間光太, 土澤泰, 西英隆, 荒武淳, 佐藤昇男

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM) 2021 2021年
高密度・低消費電力な短距離光インターコネクションに向けたデバイス技術—特集 IOWN構想特集 : オールフォトニクス・ネットワーク実現に向けた光電融合技術

武田浩司, 藤井拓郎, 岸俊樹, 鹿間光太, 脇田斉, 西英隆, 佐藤具就, 土澤泰, 瀬川徹, 佐藤昇男 …

NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社編 32(8) 15-22 2020年8月
実装の整理学

佐藤昇男

エレクトロニクス実装学会誌 22(6) P6-P6 2019年9月1日
静電型MEMSｴﾈﾙｷﾞｰﾊｰﾍﾞｽﾀにおける非線形発振の検討(1)

小野一善, ユーアレクサンダー, 佐藤昇男, 田中雄次郎, 阪田知巳, 神好人, 小泉弘

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 2950-2950 2016年3月3日
外部制御を用いない偏波整列素子に関する検討

阪本隼志, 佐藤昇男, 山口城治, 橋本俊和

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd 2015年
C-5-7 フィジカルエージングによるMEMSミラーの角度変動とその抑制(C-5.機構デバイス,一般セッション)

中島光雅, 石原隆子, 下山展弘, 佐藤昇男, 桑原啓, 碓氷光男, 阪田知巳, 根本成, 山口城冶, 神好人

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2013(2) 7 2013年9月3日
MEMSを用いた振動エネルギーハーベスト技術—特集極限的な低消費電力を目指したハードウェア技術

小野一善, 佐藤昇男, 阪田知巳

NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社編 24(12) 32-36 2012年12月
静電型MEMS Energy harvesterにおける狭ギャップ化効果

小野一善, 佐藤昇男, 阪田知巳, 小舘淳一, 佐藤康博, 神好人

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 3845-3845 2012年8月27日
水平アレイ振動構造を用いた静電型MEMS発電機におけるエネルギーハーベスティング

小野一善, 佐藤昇男, 阪田知巳, 小舘淳一, 佐藤康博, 神好人

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 3085-3085 2012年2月29日
静電型MEMS発電機に向けた同期型振動構造

小野一善, 佐藤昇男, 島村俊重, 宇賀神守, 佐藤康博

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.2 2688-2688 2010年8月30日
マルチバンドRF回路用集積化RF MEMS技術—Integrated RF MEMS technology for multiband RF circuits—超伝導エレクトロニクス

桑原啓, 高河原和彦, 佐藤昇男

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110(13) 39-43 2010年4月23日
MEMS封止膜形成における溝幅依存性

亀井敏和, 小野一善, 松島隆明, 桑原啓, 高河原和彦, 工藤和久, 矢野正樹, 佐藤昇男, 佐藤康博, 町田克之

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.1 2959-2959 2010年3月3日
静電型MEMS発電機の電極間ギャップが出力に及ぼす効果

小野一善, 佐藤昇男, 島村俊重, 宇賀神守, 佐藤康博

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.1 2958-2958 2010年3月3日

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講演・口頭発表等

Over-8000-GHzΩ/mW-FoM Transimpedance Amplifier for Processor Interconnection

Tadashi Minotani, Tatsurou Hiraki, Yohei Saito, Yoshiho Maeda, Toru Miura, Tomonari Sato, Norio Sato, Shinji Matsuo

Optical Fiber Communication Conference and Exposition 2026年3月
Membrane III-V Photonic Devices for Chip-to-Chip Interconnection

Tatsurou Hiraki, Takuro Fujii, Takuma Aihara, Yoshiho Maeda, Tadashi Minotani, Norio Sato, Tomonari Sato, Shinji Matsuo

Optical Fiber Communication Conference and Exposition 2026年3月
Opto-electronically Integrated Chiplet using a CMOS-Driver-embedded substrate with a III-V Electro-absorption Modulator

Tadashi Minotani, Tatsurou Hiraki, Yohei Saito, Takuma Aihara, Yoshiho Maeda, Toru Miura, Takuro Fujii, Tomonari Sato, Norio Sato, Shinji Matsuo

Solid State Devices and Materials 2025年9月
Optical Chiplet with 0.75-pJ/bit Transmitter Using Membrane III-V Electro-absorption Modulators on Si and Differential CMOS Driver

Tatsurou Hiraki, Tadashi Minotani, Yohei Saito, Takuma Aihara, Yoshiho Maeda, Toru Miura, Takuro Fujii, Tomonari Sato, Norio Sato, Shinji Matsuo

2025 EUROPEAN CONFERENCE ON OPTICAL COMMUNICATIONS, ECOC 2025年10月
42-Gbps/ch x 4 ch Simultaneous Error-Free Operation with Low-Power Transmitter Flip-Chip-Bonded 1.3-μm LD-Array-on-Si.

Toshiki Kishi, Munehiko Nagatani, Shigeru Kanazawa, Takuro Fujii, Hidetaka Nishi, Tadashi Minotani, Norio Sato, Tomonari Sato, Shinji Matsuo

Optical Fiber Communications Conference and Exhibition(OFC) 2025年 IEEE
Photonics-Electronics Convergence Technologies for Computing

Norio Sato

A-SSCC2024 Industry Forum Talk 2 2024年11月19日
A Concept of Introducing Magnetic Attraction Structure into Optical-fiber Connector

Kota Shikama, Norio Sato, Yoshiyuki Doi, Satoshi Tsunashima, Yuzo Ishii

NTT Technical Review 2023年4月
30-Gbps/ch x 4 ch Simultaneous Error-Free Transmission with A Low-Power Transmitter Flip-Chip-Bonded 1.3-μm LD-Array-on-Si.

Toshiki Kishi, Munehiko Nagatani, Shigeru Kanazawa, Kota Shikama, Takuro Fujii, Hidetaka Nishi, Tadashi Minotani, Norio Sato, Toru Segawa, Shinji Matsuo

Optical Fiber Communications Conference and Exhibition(OFC) 2023年 IEEE
Ultra-compact Multi-fiber Connector with Magnetic Physical Contact

Kota Shikama, Norio Sato, Ryo Nagase, Yoshiyuki Doi, Hiromasa Tanobe, Satoshi Tsunashima, Yuzo Ishii

2022 Optical Fiber Communications Conference and Exhibition, OFC 2022 - Proceedings 2022年
Photonics-electronics Convergence Technologies for Disaggregated Computing

Takeshi Sakamoto, Norio Sato, Toru Segawa

NTT Technical Review 2021年7月
Tapered Self-Written Waveguide between Silicon Photonics Chip and Standard Single-Mode Fiber

Yohei Saito, Kota Shikama, Tai Tsuchizawa, Hidetaka Nishi, Atsushi Aratake, Norio Sato

2020 Optical Fiber Communications Conference and Exhibition, OFC 2020 - Proceedings 2020年3月
Miniature Optical Connector with Magnetic Physical Contact

Kota Shikama, Norio Sato, Atsushi Aratake, Satoshi Shigematsu, Takeshi Sakamoto

2020 Optical Fiber Communications Conference and Exhibition, OFC 2020 - Proceedings 2020年3月
A 0.57-mW/Gbps, 2ch × 53-Gbps Low-Power PAM4 Transmitter Front-End Flip-Chip-Bonded 1.3-μm LD-Array-on-Si

Toshiki Kishi, Munehiko Nagatani, Shigeru Kanazawa, Kota Shikama, Takuro Fujii, Hidetaka Nishi, Hiroshi Yamazaki, Norio Sato, Hideyuki Nosaka, Shinji Matsuo

2020 Optical Fiber Communications Conference and Exhibition, OFC 2020 - Proceedings 2020年3月
Nonlinear oscillation for a millimeter-sized electrostatic energy harvester

Kazuyohi Ono, Norio Sato, Tomomi Sakata, Yoshito Jin, Yasuhiro Sato, Hiroshi Koizumi

2015 21st Asia-Pacific Conference on Communications, APCC 2015 2016年2月17日
Vibrational energy harvesting with microelectromechanical system technology

Kazuyoshi Ono, Norio Sato, Tomomi Sakata, Junichi Kodate, Yoshito Jin

NTT Technical Review 2013年2月
A millimeter-sized electret-energy-harvester with microfabricated horizontal arrays and vertical protrusions for power generation enhancement

K. Ono, N. Sato, T. Shimamura, M. Ugajin, T. Sakata, S. Mutoh, Y. Sato

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11 2011年
Nano-watt power management and vibration sensing on a dust-size batteryless sensor node for ambient intelligence applications

Toshishige Shimamura, Mamoru Ugajin, Kenji Suzuki, Kazuyoshi Ono, Norio Sato, Kei Kuwabara, Hiroki Morimura, Shin'ichiro Mutoh

Digest of Technical Papers - IEEE International Solid-State Circuits Conference 2010年
Energy harvesting by MEMS vibrational devices with electrets

N. Sato, K. Ono, T. Shimamura, K. Kuwabara, M. Ugajin, S. Mutoh, H. Morimura, H. Ishii, J. Kodate, Y. Sato

TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 2009年
STP technology - interconnects, CMOS-MEMS, packaging -

Norio Sato, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Hideki Adachi

Advanced Metallization Conference (AMC) 2008年招待有り
High aspect-ratio pillar structure with gold electroplating and STP technique for thick multilevel interconnections

N. Shimoyama, K. Ono, N. Sato, T. Sakata, K. Kuwabara, H. Ishii, T. Kamei, K. Kudou, K. Machida

Advanced Metallization Conference (AMC) 2008年

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担当経験のある科目(授業)

2019年4月 - 2020年9月

エレクトロニクス通論 (横浜国立大学・非常勤講師)

所属学協会

2019年 - 現在

エレクトロニクス実装学会
2001年 - 現在

IEEE
1999年 - 現在

応用物理学会
1998年 - 現在

日本物理学会

佐藤昇男

基本情報

学歴

委員歴

受賞

論文

MISC

講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

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