肖世玉 (SHIYU XIAO) - マイポータル

基本情報

J-GLOBAL ID: 202201008554837885
researchmap会員ID: R000037316

経歴

2022年4月 - 現在

三重大学大学院工学研究科電気電子工学専攻特任助教
2021年4月 - 2022年3月

三重大学地域戦略企画室特任助教
2017年9月 - 2021年3月

三重大学大学院地域イノベーション学研究科助教
2016年11月 - 2017年8月

三重大学大学院地域イノベーション学研究科外国人研究員

学歴

2012年10月 - 2016年9月

名古屋大学大学院工学研究科マテリアル理工学専攻博士後期課程

受賞

2017年9月

Best Young Scientist Award, Investigation of high-temperature annealing process of sputtered AlN films, 2017 International Workshop on UV Materials and Devices (IWUMD2017)

XIAO SHIYU

論文

Polarity control of sputter-deposited AlN with high-temperature face-to-face annealing

Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Hideto Miyake

Materials Science in Semiconductor Processing 166 107736-107736 2023年11月
Micro- and Nanostructure Analysis of Vapor-Phase-Grown AlN on Face-to-Face Annealed Sputtered AlN/Nanopatterned Sapphire Substrate Templates

Yudai Nakanishi, Yusuke Hayashi, Takeaki Hamachi, Tetsuya Tohei, Yoshikata Nakajima, Shiyu Xiao, Kanako Shojiki, Hideto Miyake, Akira Sakai

Journal of Electronic Materials 2023年3月29日
263 nm wavelength UV-C LED on face-to-face annealed sputter-deposited AlN with low screw- and mixed-type dislocation densities

Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Takao Nakamura, Masataka Kubo, Hideto Miyake

Applied Physics Express 15(5) 055501-055501 2022年5月1日
Cathodoluminescence study of m-plane α-Ga2O3 grown by mist chemical vapor deposition

Ryo Moriya, Junjiro Kikawa, Shinichiro Mouri, Takashi Shinohe, Shiyu Xiao, Hideto Miyake, Tsutomu Araki

Phys, Status Solidi B 259(4) 2100598-2100598 2022年1月18日査読有り
Effect of MOVPE growth conditions on AlN films on annealed sputtered AlN templates with nano-striped patterns

Yukino Iba, Kanako Shojiki, Shigeyuki Kuboya, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 570 126237-126237 2021年9月15日査読有り
Effect of the Sputtering Deposition Conditions on the Crystallinity of High-Temperature Annealed AlN Films

Kenjiro Uesugi, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Shigeyuki Kuboya, Hideto Miyake

Coatings 11(8) 956-956 2021年8月10日査読有り
Thick AlN layers grown on micro-scale patterned sapphire substrates with sputter-deposited annealed AlN films by hydride vapor-phase epitaxy

Shiyu Xiao, Kanako Shojiki, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 566-567 126163-126163 2021年7月15日査読有り筆頭著者
High-quality AlN/sapphire templates prepared by thermal cycle annealing for high-performance ultraviolet light-emitting diodes

Ding Wang, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Kenji Norimatsu, Hideto Miyake

Applied Physics Express 14(3) 035505-035505 2021年3月1日査読有り
Low dislocation density AlN on sapphire prepared by double sputtering and annealing

Ding Wang, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Kenji Norimatsu, Hideto Miyake

Applied Physics Express 13(9) 095501-095501 2020年9月1日査読有り
MOVPE growth of AlN films on nano-patterned sapphire substrates with annealed sputtered AlN

Yukino Iba, Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 532 125397-125397 2020年2月査読有り
Improvements in structural and optical properties of wafer-scale hexagonal boron nitride film by post-growth annealing

Seung Hee Lee, Hokyeong Jeong, Odongo Francis Ngome Okello, Shiyu Xiao, Seokho Moon, Dong Yeong Kim, Gi-Yeop Kim, Jen-Iu Lo, Yu-Chain Peng, Bing-Ming Cheng …

Scientific Reports 9(1) 1-8 2019年12月査読有り
Structural analysis of polarity inversion boundary in sputtered AlN films annealed under high temperatures

Toru Akiyma, Motoshi Uchino, Kohji Nakamura, Tomonori Ito, Shiyu Xiao, Hideto Miyake

Japanese Journal of Applied Physics 58(SC) SCCB30-SCCB30 2019年6月1日査読有り
Preparation of high-quality thick AlN layer on nanopatterned sapphire substrates with sputter-deposited annealed AlN film by hydride vapor-phase epitaxy

Shiyu Xiao, Nan Jiang, Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake

Japanese Journal of Applied Physics 58(SC) SC1003-SC1003 2019年6月1日査読有り筆頭著者
Fabrication of AlN templates on SiC substrates by sputtering-deposition and high-temperature annealing

Kenjiro Uesugi, Yusuke Hayashi, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Kentaro Nagamatsu, Harumasa Yoshida, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 510 13-17 2019年3月査読有り
Improvement mechanism of sputtered AlN films by high-temperature annealing

Shiyu Xiao, Ryoya Suzuki, Hideto Miyake, Shunta Harada, Toru Ujihara

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 502 41-44 2018年11月査読有り筆頭著者
High-temperature annealing of AlN on sapphire using face-to-face method (Conference Presentation)

Hideto Miyake, Yusuke Hayashi, Shi-yu Xiao, Kazumasa Hiramatsu

Gallium Nitride Materials and Devices XIII 10532 1053202 2018年3月14日査読有り
Two-step SiC solution growth for dislocation reduction

K. Murayama, T. Hori, S. Harada, S. Xiao, M. Tagawa, T. Ujihara

Journal of Crystal Growth 468 874-878 2017年6月15日
Conversion Behavior of Threading Screw Dislocations on C Face with Different Surface Morphology during 4H-SiC Solution Growth

Shiyu Xiao, Shunta Harada, Kenta Murayama, Miho Tagawa, Toru Ujihara

Crystal Growth and Design 16(11) 6436-6439 2016年11月2日
Characterization of V-Shaped Defects Formed during the 4H-SiC Solution Growth by Transmission Electron Microscopy and X-ray Topography Analysis

Shiyu Xiao, Shunta Harada, Kenta Murayama, Toni Ujihara

CRYSTAL GROWTH & DESIGN 16(9) 5136-5140 2016年9月
Surface Morphology and Threading Dislocation Conversion Behavior during Solution Growth of 4H-SiC Using Si-Al solvent

Shunta Harada, Yuji Yamamoto, Shiyu Xiao, Miho Tagawa, Toru Ujihara

SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2013, PTS 1 AND 2 778-780 67-70 2014年

MISC

MOVPE法を用いたBN成長におけるAlNテンプレート極性の影響と高温アニール

大石悠翔, XIAO Shiyu, 上杉謙次郎, 上杉謙次郎, 秋山亨, 玉野智弘, 三宅秀人

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 123(288(ED2023 14-37)) 2023年
MOVPE法を用いたBN成長におけるAlNテンプレート極性の影響

大石悠翔, XIAO Shiyu, 上杉謙次郎, 上杉謙次郎, 秋山亨, 三宅秀人

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年
高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発 (光・量子デバイス研究会・パワー光源システム技術研究会)

上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 肖世玉, 三宅秀人

電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan 2021(34) 17-22 2021年7月20日
r面サファイア基板上への高温アニールa面AlN膜作製における基板オフ角依存性

渋谷康太, 上杉謙次郎, 上杉謙次郎, XIAO Shiyu, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 秋山亨, 三宅秀人, 三宅秀人

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 121(259(ED2021 15-36)) 2021年
スパッタアニール法を用いたa面AlNの結晶性の基板オフ角依存性

渋谷康太, 上杉謙次郎, 上杉謙次郎, XIAO S., 正直花奈子, 窪谷茂幸, 秋山亨, 三宅秀人, 三宅秀人

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
r面サファイア上a面AlNスパッタ膜の高品質化と特性評価 (電子デバイス)

福田涼, 正直花奈子, 蒋楠, 上杉謙次郎, 林侑介, 肖世玉, 三宅秀人

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(330) 83-86 2018年11月29日
Formation of basal plane dislocations introduced by collision of macrosteps on growth surface during sic solution growth

T. Hori, K. Murayama, S. Harada, S. Xiao, M. Tagawa, T. Ujihara

Materials Science Forum 897 28-31 2017年
Sic solution growth on si face with extremely low density of threading screw dislocations for suppression of polytype transformation

K. Murayama, T. Hori, S. Harada, S. Xiao, M. Tagawa, T. Ujihara

Materials Science Forum 897 24-27 2017年

講演・口頭発表等

らせん・混合転位密度が低いAlNテンプレートを用いたDUV-LEDの開発

上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 正直花奈子, 肖世玉, 久保雅敬, 三宅秀人

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月
金属Alターゲットを用いてスパッタ堆積したアニールAlNの極性制御

橋本卓実, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 窪谷茂幸, 三宅秀人

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月
低転位密度AlNテンプレート上へのAlGaN成長と265nm発光LEDへの応用

上杉謙次郎, 正直花奈子, 肖世玉, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 三宅秀人

2022年日本結晶成長学会特別講演会「赤﨑勇先生追悼公演会～結晶成長が描く夢の継承～」 2022年2月招待有り
High-power operation of DUV-LED grown on high-temperature annealed AlN templates

K. Uesugi, S. Kuboya, T. Nakamura, K. Shojiki, S. Xiao, M. Kubo, H. Miyake

The 3rd International Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity (IWSingularity 2022) 2022年1月招待有り
フラット・トップ型ナノパターンサファイア基板を用いたAlNのMOVPE成長

和泉志男, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人

第13回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会 2021年12月
スパッタ積層と高温アニールで作製したAlN膜における極性制御

橋本卓実, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 窪谷茂幸, 三宅秀人

第13回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会 2021年12月
低転位密度AlNテンプレート上でのAlGaN成長におけるステップ制御

三宅秀人, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 肖世玉, 窪谷茂幸

第50回日本結晶成長国内会議 (JCCG-50) 2021年10月27日招待有り
スパッタアニールAlNテンプレート上UV-C AlGaN量子井戸成長

石原頌也, 窪谷茂幸, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月
ストライプ状溝加工AlNテンプレート上へのHVPE法によるAlN成長

岡駿斗, 奥灘瑠斗, 肖世玉, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 三宅秀人

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月
スパッタアニール法を用いたa面AlNの基板オフ角依存性

渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 秋山亨, 三宅秀人

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月
高温アニールしたAlN上におけるDUV-LEDの高効率化

上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 正直花奈子, 肖世玉, 三宅秀人

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月
サファイア上AlN膜の高温アニールによる高品質化と深紫外LED応用

三宅秀人, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 窪谷茂幸

日本学術振興会透明酸化物光･電子材料第166委員会第90回研究会 2021年7月30日招待有り
高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発

上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 肖世玉, 三宅秀人

電気学会光・量子デバイス研究会「パワー光源システム技術」 2021年7月
MOVPE Growth of Al(Ga)N on Face-to-Face Annealed Sputtered AlN with Low Threading Dislocation Density

K. Shojiki, K. Uesugi, S. Xiao, S. Kuboya, H. Miyake

Compound Semiconductor Week2021（CSW-2021） 2021年5月招待有り
高温アニールしたAlNテンプレート上のAlGaN成長における異常成長の起源

上杉謙次郎, 手銭雄太, 肖世玉, 則松研二, 岡村実奈, 荒木努, 三宅秀人

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月
高温アニールによる転位密度107cm-2のAlNテンプレート作製

三宅秀人, 正直花奈子, 肖世玉, 上杉謙次郎, 窪谷茂幸

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月招待有り
Fabrication of high crystalline AlN/sapphire for deep UV-LED

H. Miyake, K. Uesugi, S. Xiao, K. Shojiki, S. Kuboya

SPIE Photonics West 2021 2021年3月招待有り
High-quality AlN template prepared by face-to-face annealing of sputtered AlN on sapphire

H. Miyake, K. Uesugi, K. Shojiki, S. Xiao, D. Wang, S. Kuboya

The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology, (CGCT-8) 2021年3月招待有り
Thick AlN layers grown on macro-scale patterned sapphire substrates with sputter-deposited annealed AlN films by hydride vapor-phase epitaxy

Shiyu Xiao, Kanako Shojiki, Hideto Miyake

The Virtual Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity 2021年2月
ナノストイプパターン加工した低転位密度AlNテンプレート上へのMOVPE成長と結晶性評価

伊庭由季乃, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人

電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティレーザ・量子エレクトロニクス研究会（LQE） 2020年10月

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