2018年9月18日
Miniaturization of swelling structure fabricated on 6H-SiC surface by ion-beam irradiation
22nd Int. Conf. on Ion Implantation Technology(IIT2018)
- 記述言語
- 英語
- 会議種別
- ポスター発表
- 開催地
- ドイツ、ビュルツブルク
百田 佐多生
モモタ サダオ (Sadao Momota)
更新日: 02/03