論文

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2019年9月

Fabrication of multi-step swelling structures on 6H–SiC by using highly-charged Ar beams

Vacuum

Momota S
Sato N
Honda K

巻: 170
号
開始ページ: 108963-1
終了ページ: 108963-6
記述言語: 英語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.108963

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2019.108963
URL: https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X19306116

ID情報

DOI : 10.1016/j.vacuum.2019.108963
ISSN : 0042-207X

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