書籍等出版物

2010年

Influence of Plasma Gases on Fabrication of AlN Coatings through Atmospheric Plasma Nitriding Process

  • Mohammed Shahien
    • ,
  • Motohiro Yamada
    • ,
  • Toshikai Yasui
    • ,
  • Masahiro Fukumoto
担当区分
分担執筆
担当範囲
Industrial Application of Plasma Process
出版者・発行元
Transworld Research Network
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