講演・口頭発表等

2018年3月5日

無極性AlN薄膜成長のためのスパッタ法を用いたMnSバッファー層作製条件の検討

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
  • 立島滉大
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  • 立島滉大
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  • 長田貴弘
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  • 石橋啓次
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  • 高橋健一郎
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  • 鈴木摂
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  • 小椋厚志
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  • 知京豊裕

記述言語
日本語
会議種別

リンク情報
URL
http://jglobal.jst.go.jp/public/201802281499065506