2014年1月1日
全方位角度分解散乱光計測による加工表面性状解析技術
精密工学会誌
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- 巻
- 80
- 号
- 6
- 開始ページ
- 514
- 終了ページ
- 518
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.2493/jjspe.80.514
- 出版者・発行元
- 公益社団法人 精密工学会
- リンク情報
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- DOI
- https://doi.org/10.2493/jjspe.80.514
- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/130004745468
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN1003250X
- ID情報
-
- DOI : 10.2493/jjspe.80.514
- ISSN : 0912-0289
- CiNii Articles ID : 130004745468
- CiNii Books ID : AN1003250X
- identifiers.cinii_nr_id : 9000283143018
- SCOPUS ID : 84902981627