2011年5月
Scanning type microprobe for displacement measurement based on standing wave detection using an optically trapped particle
International Journal of Automation Technology
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- 巻
- 5
- 号
- 3
- 開始ページ
- 395
- 終了ページ
- 402
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.20965/ijat.2011.p0395
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.20965/ijat.2011.p0395
- ISSN : 1881-7629
- SCOPUS ID : 80054054669