特許権 基板研磨装置 東邦エンジニアリング株式会社 鈴木 辰俊, 鈴木 英資, 鈴木 大介 出願番号 特願2012-181568 出願日 2012年8月20日 公開番号 特開2014-038981 公開日 2014年2月27日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201403052306909571 ID情報 J-Global ID : 201403052306909571
