特許権
半導体CMP加工用パッドの細溝加工機械
東邦エンジニアリング株式会社
- 出願番号
- 特願2003-315637
- 出願日
- 2003年9月8日
- 公開番号
- 特開2004-130505
- 公開日
- 2004年4月30日
- 特許番号/登録番号
- 特許第4009237号
- 登録日
- 発行日
- 2007年9月7日
- ID情報
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- J-Global ID : 201103064379150600
鈴木 辰俊
Tatsutoshi SUZUKI
更新日: 2022/09/16