特許権 半導体CMP加工用パッドの細溝加工機械 東邦エンジニアリング株式会社 鈴木 辰俊 出願番号 特願2003-315637 出願日 2003年9月8日 公開番号 特開2004-130505 公開日 2004年4月30日 特許番号/登録番号 特許第4009237号 登録日 発行日 2007年9月7日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201103064379150600 ID情報 J-Global ID : 201103064379150600