論文

査読有り 筆頭著者 責任著者
2021年3月1日

バイオセンシングを指向したフィルタフリー蛍光センサの近紫外光検出能の向上

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
  • 野田 俊彦
  • ,
  • 手島 拓哉
  • ,
  • 崔 容俊
  • ,
  • 飛沢 健
  • ,
  • 高橋 一浩
  • ,
  • 石井 仁
  • ,
  • 澤田 和明

141
3
開始ページ
77
終了ページ
82
記述言語
日本語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1541/ieejsmas.141.77
出版者・発行元
一般社団法人 電気学会

<p>Detection performance of filter-free fluorescence sensors in the near-ultraviolet region has improved in this study. Thinner polycrystalline-Si film and indium tin oxide film were introduced as materials of photogate which required high transparency for sensitive measurement. Optical property of the photogate material was evaluated. Filter-free fluorescence sensors which have photogates with high optical transmittance were fabricated based on standard CMOS process. As results of a demonstration which emulates separate detection of excitation light and fluorescence by the fabricated filter-free sensors, detection performance in the near-ultraviolet region has improved a hundredfold compared to a previous sensor.</p>

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1541/ieejsmas.141.77
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/130007993096
CiNii Books
http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN1052634X
URL
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/141/3/141_77/_pdf
ID情報
  • DOI : 10.1541/ieejsmas.141.77
  • ISSN : 1341-8939
  • eISSN : 1347-5525
  • CiNii Articles ID : 130007993096
  • CiNii Books ID : AN1052634X

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