特許権 半導体レーザ装置及びその製造方法 鬼頭 雅弘, 石野 正人, 戸田 知朗, 中野 義昭 出願番号 特願平11-059790 出願日 1999年3月8日 公開番号 特開2000-261104 公開日 2000年9月22日