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査読有り 招待有り 筆頭著者 責任著者
2020年

大電力パルススパッタリング技術とそのパルスパターンの多様性

材料の科学と工学
  • 清水徹英

57
1
開始ページ
6
終了ページ
9
記述言語
日本語
掲載種別
記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=202002293578355928
CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/crid/1010853567239580420?lang=ja
URL
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17KK0136/
ID情報
  • ISSN : 1347-4774
  • J-Global ID : 202002293578355928
  • CiNii Research ID : 1010853567239580420

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