2020年
大電力パルススパッタリング技術とそのパルスパターンの多様性
材料の科学と工学
- 巻
- 57
- 号
- 1
- 開始ページ
- 6
- 終了ページ
- 9
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)
- リンク情報
- ID情報
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- ISSN : 1347-4774
- J-Global ID : 202002293578355928
- CiNii Research ID : 1010853567239580420