2015年4月
Impact of pulse duration in high power impulse magnetron sputtering on the low-temperature growth of wurtzite phase (Ti,Al)N films with high hardness
Thin Solid Films
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- 巻
- 581
- 号
- 開始ページ
- 39
- 終了ページ
- 47
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1016/j.tsf.2014.11.076
- 出版者・発行元
- Elsevier BV
- ID情報
-
- DOI : 10.1016/j.tsf.2014.11.076
- ISSN : 0040-6090
- ORCIDのPut Code : 17947069
- SCOPUS ID : 84988287803